凈化車(chē)間裝修在潔凈室的溫濕度要求。

凈化車(chē)間裝修重點(diǎn)是讓我們看一下溫濕度的作用。從生產(chǎn)工藝的角度分析，每個(gè)生產(chǎn)線(xiàn) 應有不同的控制參數要求；從衛生學(xué)角度分析，濕度高容易使細菌特別是霉 菌滋生繁殖，溫濕度越低越能抑制細菌的繁殖，雖然濕度低易起塵，使細菌擴 散。但綜合分析，濕度偏低些還是有利的。在各生產(chǎn)潔凈區溫濕度控制中，不 必強求統一的參數標準，而應根據不同產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝要求進(jìn)行確定，既有 利于空調系統調節操作，又有利于生產(chǎn)控制。

凈化車(chē)間裝修在一定空間范圍內，將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內的工程學(xué)科。凈化工程公司所特別設計的房間，不論外在空氣條件如何變化，室內均具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能。潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來(lái)確定，但在滿(mǎn)足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著(zhù)空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來(lái)越嚴的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細，所以對溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。

濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對濕度超過(guò)55％時(shí)，冷卻水管壁上會(huì )結露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì )引起各種事故。相對濕度在50％時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著(zhù)的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當相對濕度低于30％時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)最佳溫度范圍為35—45％。

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