本項目為深圳某半導體有限公司潔凈廠(chǎng)房無(wú)塵車(chē)間裝修工程，其中中試廠(chǎng)房建筑面積約2116.8 m2，裝修面積2116.8 m2，空調送風(fēng)面積 1547.42m2。廠(chǎng)房為單層鋼筋混凝土框架結構組成，耐火等級為二級，火災危險性等級為甲類(lèi)，樓板高度5.85m。
設計范圍包括：裝修方案（圍護、地面防水保溫處理），暖通方案（空調設備、風(fēng)管、水管等），特氣供應方案（特氣柜含保險控制、房間氣體監測、EP級管道及BA級管道、供氣管路尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案（儀器設備POU處理、房間排風(fēng)廢氣處理），電氣方案（空調設備動(dòng)力配電等），弱電工程，集成控制智能平臺，純水方案（冷卻水、去離子水、超純水、水管等），廢水處理。 
二、結構圍護工程
墻板及吊頂：本工程隔墻采用企口型機制玻鎂巖棉夾芯板0.426， 玻鎂巖棉彩鋼板符合潔凈廠(chǎng)房二級消防要求，玻鎂巖棉彩鋼夾芯板具有1000℃的耐火性能，耐火等級達到A級。巖棉密度：≥100kg/m3；導熱系數：≤0.046w/m.k；燃燒性能：A級(不燃)。耐火極限為30~120分鐘。廣泛應用于食品、電子、醫藥、飲料、生物研究等行業(yè)。你可能感興趣：半導體凈化級別
地板：本工程車(chē)間內地面采用防靜電型PVC地板，其中千級和百級車(chē)間采用防靜電型架高鋼板，其它為普通型PVC地板。 PVC地板是當今世界上非常流行的一種新型輕體地面裝飾材料，也稱(chēng)為“輕體地材” 使用非常廣泛，比如家庭、醫院、學(xué)校、辦公樓、工廠(chǎng)、公共場(chǎng)所、超市、商業(yè)、等各種場(chǎng)所。
三、暖通工程
設備：空調制冷負荷：經(jīng)統計計算，總冷負荷約500KW。采用恒溫恒濕潔凈空調，夏季采用磁懸浮水冷機組，冬季采用廠(chǎng)區鍋爐熱水供熱。
風(fēng)管：風(fēng)管采用共板法蘭風(fēng)管。
水管：空調水管采用無(wú)縫鋼管。水泵采用星-三角降壓?jiǎn)?dòng)。
四、特種氣體工程
工藝氣體種類(lèi)多，純度高，并且易燃易爆有毒。安全問(wèn)題突出，為保證系統的安全和穩定可靠，建議采用進(jìn)口成熟產(chǎn)品。
因為 MOCVD 生長(cháng)使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物質(zhì)，并且要生長(cháng)多組分、大面積、薄層和超薄層異質(zhì)材料，因此在MOCVD 系統的設計思想上，通常要考慮系統密封性要好，流量、溫度控制要精確，組分變換要迅速，系統要緊湊等。核心工作是氣體輸運系統和尾氣處理系統。
五、空壓氣體工程
螺桿式空壓機組主要主要有以下系統組成：空氣流程系統、潤滑油流程系統、冷卻系統、安全保護系統、控制系統及電氣線(xiàn)路。螺桿式空壓機組主要有壓縮機、電動(dòng)機、空氣濾清器、進(jìn)氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤滑油冷卻器壓力開(kāi)關(guān)、單向閥、儲氣罐、壓力表、自動(dòng)排水器、安全閥等設備部件。另外在空壓機系統中大多配置冷干機和空氣干燥器。
六、廢氣工程
由于半導體工藝對操作室清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機抽取工藝過(guò)程中揮發(fā)的各類(lèi)廢氣，因此半導體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。廢氣排放也以揮發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放主要可以分為四類(lèi)：酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體。
生產(chǎn)廢氣排放源及組成表| 廢氣來(lái)源 | 組成 |
| 外延工序 | SiH4、SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、AsH3、B2H6、PH3、HCl、H2 |
| 清洗工序 | H2SO4、H2O2、HNO3、HCl、HF、H3PO4、NH4F、NH4OH 等 |
| 光刻工序 | 異丙醇、醋酸丁酯、甲苯、Cl2、BCl3、C2F6、C3F8、CF4、SF6、HF、HCl、NO、C3H8、HBr、H2S 等 |
| 化學(xué)機械拋光 | NH4OH、NH4Cl、NH3、KOH、有機酸鹽 |
| 化學(xué)氣相沉淀 | SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、SiF4、CF4、B2H6、PH3、NF3、HCl、HF、NH3 |
| 擴散、離子注入 | BF3、AsH3、PH3、H2、SiH4、SiH2Cl2、BBr3、BCl3、B2H6 |
| 金屬化工序 | SiH4、BCl3、AlCl3、TiCl4、WF6、TiF4、SiF4、AlF3、BF3、SF6等 |
對酸性氣體、堿性氣體的處理一般都采用濕式洗滌塔技術(shù)。
對于有機廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結合的處理方法。因為半導體工藝過(guò)程中有機廢氣具有排放流量大（通常大于11039 m3/小時(shí)）和濃度低（通常小于25ppmv）的特點(diǎn)，使用其它的處理技術(shù)難以達到令人滿(mǎn)意的處理效率。沸石濃縮轉輪后再吸附或焚燒。
七、電氣工程
空調動(dòng)力電工程：統計總用電量約830KW，空調用電約330KW。
動(dòng)力（鍍鋅線(xiàn)槽）沿墻體及天花敷設，再分至車(chē)間及設備電箱，安裝在樓板下。主電纜采用YJV型號。
八、弱電系統工程
1、高清視頻監控 系統采用1200W網(wǎng)絡(luò )監控攝像機，通過(guò)千兆交換組網(wǎng)在機房中心進(jìn)行集中存儲， 系統設計7*24小時(shí)不間斷運行，實(shí)現1080P存儲1個(gè)月以上，管理人員可通過(guò)電腦進(jìn)行監控查看，錄像回放等操作。
2、門(mén)禁管理系統 門(mén)禁系統已成為安防系統極其重要的組成部分，門(mén)禁系統將監控被動(dòng)防范的方式進(jìn)行了主動(dòng)防范補充。通過(guò)網(wǎng)絡(luò )一體式門(mén)禁管理機，配合門(mén)禁專(zhuān)用電源、電磁鎖可將主要出入口設置為授權式管理，避免了與車(chē)間無(wú)關(guān)人員的頻繁出入。
九、智能平臺
潔凈系統中的風(fēng)量控制采用文丘里閥門(mén)，實(shí)時(shí)監控流量及狀態(tài)，可在線(xiàn)診斷。并可以維持房間壓力、溫度、濕度的平穩可靠。
中控室中把空調、特氣、純水、監控、房間溫濕度等參數集成管理、顯示、儲存，并對數據進(jìn)行打印輸出及溯源查找。
并經(jīng)設備輸出在參觀(guān)通道播放，方便參觀(guān)。
十、純水工程
1、設備產(chǎn)水能力：
2、RO系統：一級RO反滲透產(chǎn)水量≥8m3/h（水溫保證在25℃時(shí)）；
二級RO反滲透產(chǎn)水量≥6m3/h（水溫保證在25℃時(shí)）；
3、EDI系統：EDI產(chǎn)水量≥5m3/h（水溫在25℃時(shí)）；
4、終端拋光混床產(chǎn)水能力為：≥5m3/H（水溫保證在25℃時(shí)）；
5、設備產(chǎn)水水質(zhì)指標：
終端拋光混床產(chǎn)水水質(zhì)為：≥18.0MΩ.cm（水溫保證在25℃時(shí)，測點(diǎn)在拋光混床出口3米內，95%時(shí)間）
其它技術(shù)指標參照我國的電子級水的技術(shù)指標（GB11446.1-1977）EW-1| 指標 級別 | EW-I | EW-II | EW-III | EW-IV |
| 電阻率（25℃）MΩ.cm | 18（95%時(shí)間）
不低于15 | 15（95%時(shí)間）
不低于12 | 12.0 | 0.5 |
| 全硅，最大值（ug/L） | 2 | 10 | 50 | 1000 |
| ≥1um微粒數，最大值（個(gè)/Ml） | 0.1 | 5 | 10 | 500 |
| 細菌個(gè)數，最大值（個(gè)/Ml） | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 |
| 銅，最大值（ug/L） | 0.2 | 1 | 2 | 500 |
| 鋅，最大值（ug/L） | 0.2 | 1 | 5 | 500 |
| 鎳，最大值（ug/L） | 0.1 | 1 | 2 | 500 |
| 鈉，最大值（ug/L） | 0.5 | 2 | 5 | 1000 |
| 鉀，最大值（ug/L） | 0.5 | 2 | 5 | 500 |
| 氯，最大值（ug/L） | 1 | 1 | 10 | 1000 |
| 硝酸根，最大值（ug/L） | 1 | 1 | 5 | 500 |
| 磷酸根，最大值（ug/L） | 1 | 1 | 5 | 500 |
| 硫酸根，最大值（ug/L） | 1 | 1 | 5 | 500 |
| 總有機碳，最大值（ug/L） | 0. | 100 | 200 | 1000 |
由于設備用水的級別各不相同，可以在本設計流程中的某段引出合適的使用點(diǎn)即可。對于超純水必須采用UPVC材質(zhì)（因金屬管道會(huì )析出離子），特別對于圓晶的生產(chǎn)，超純水會(huì )對額定的離子限值嚴格，所以采用進(jìn)口的UPVC純水管道對產(chǎn)品質(zhì)量有保證。
十一、廢水處理工程
半導體制造及封裝測試的各個(gè)工藝步驟都有大量的廢水產(chǎn)生，主要以酸堿廢水、含氟廢水、有機廢水為主。
⑴酸堿廢水
對于酸堿廢水處理前的pH值一般在3-11范圍內，時(shí)間間歇性強。在排放水體或進(jìn)行生物處理或化學(xué)處理之前，必須進(jìn)行中和，使廢水pH值達到6.5~8.5。但對于工業(yè)廢水中酸堿物質(zhì)濃度高達3%~5%的廢水，應首先考慮其回收。
⑵含氟廢水
含氟廢水的治理技術(shù)主要為化學(xué)沉淀法，即投加化學(xué)藥品形成氟化物沉淀或氟化物被吸附于所形成的沉淀物中而共沉淀，然后分離固體沉淀物即可除去氟化物。
⑶有機廢水
依靠物理法、化學(xué)法很難處理有機廢水，通常采用生化法處理。
⑷金屬廢水
金屬廢水的處理主要用化學(xué)沉淀法，廢水中含有危害性很大的一些重金屬和某些類(lèi)金屬（如砷）。
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